特許

J-GLOBAL ID：200903061848567331

内部共振器型レーザ分光方法(ILS)による気体汚染物質の高感度検出方法

発明者： アトキンソン,ジョージ エイチ ,  カリスキー,エホシュア ,  ザン,ジャミン ,  ハインマン,マックス ,  メウディザデウ,エスメイル ,  ウォルパーディンガー,マーカス
出願人/特許権者： イノヴェイティブ レーザーズ コーポレーション
代理人 (1件)： 柳田 征史 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-511277
公開番号（公開出願番号）：特表平10-503289
出願日： 1996年08月29日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】浸食性のようなガス中の汚染物質を、内部共振器型レーザ分光方法(ILS)を用いて1ppm以下の濃度、さらには1ppb以下のレベルまで光学的に検出する。レーザ(500)、ILSレーザ(500)が検出器(10)として使用される。ILSレーザ(500)はレーザ共振器(5)内に含まれる利得媒体(507)からなる。気体汚染物質である気体粒子を含むガスサンプルはガスサンプルセル(406)内に含まれ、ガスサンプルセル(406)はレーザ共振器(5)の中の利得媒体(507)の片側に配置される。浸食性ガス内の気体粒子を検出する場合、浸食性ガスがILSレーザ(500)の部品と反応することを防ぐ。ILSレーザ(500)の出力信号を気体粒子を鑑定するため検出し分析する。気体粒子の濃度を同様にスペクトル特性から決定する。

請求項（抜粋）：

ガスサンプル内の気体粒子の存在を検出するガス検出システム(10)において、 (a)レーザ共振器(5)と、 (b)その中に配されたイオン添加された結晶(507)と、 (c)該レーザ共振器(5)の外部に配置され、該イオン添加された結晶(507)を光励起する出力を有し、それにより該レーザ共振器(5)から出射する出力ビームを生じさせる励起レーザ(100)と、 (d)該レーザ共振器(5)内で該ガスサンプルを保持するためのコンテナ(400、406)とを備え、前記イオン添加された結晶(507)からの前記出力ビームが該レーザ共振器(5)から出力される前に該ガスサンプル中を伝搬するように構成されていることを特徴とするガス検出システム。

IPC (2件)：

G01N 21/27 ,  G01N 21/01

FI (2件)：

G01N 21/27 Z ,  G01N 21/01 D

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特表平4-501036
  
• 色素レーザ発振装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-035147   出願人：レーザー濃縮技術研究組合, 株式会社東芝
• 特開昭51-046182
  
• 微粒子測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-029601   出願人：住友金属鉱山株式会社
• 固体レーザー発振器の発振器長さ調整法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-239867   出願人：関西電力株式会社, 中井貞雄, 財団法人レーザー技術総合研究所