特許

J-GLOBAL ID：200903061903727521

結晶化し易い石英ガラス部材とその用途

発明者： 岸 弘史 ,  神田 稔
出願人/特許権者： ジャパンスーパークォーツ株式会社
代理人 (1件)： 千葉 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-346335
公開番号（公開出願番号）：特開2007-153625
出願日： 2005年11月30日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】結晶化促進剤を含有せずに結晶化し易い石英ガラスによって形成した石英ガラス部材、特にシリコン単結晶の引き上げに用いる石英ガラスルツボを提供する。【解決手段】結晶化促進剤を含有せずに易結晶化性を有する石英ガラスによって形成したことを特徴とする石英ガラス部材であって、好ましくは、結晶質石英を1710〜1780°Cの温度で加熱溶融してガラス化することによって易結晶化性を有するようにした石英ガラスによって形成した石英ガラス部材、および石英ガラスルツボ、この石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引き上げ方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

結晶化促進剤を含有せずに易結晶化性を有する石英ガラスによって形成したことを特徴とする石英ガラス部材。

IPC (4件)：

C03C 10/14 ,  C03B 20/00 ,  C30B 29/06 ,  C30B 15/10

FI (4件)：

C03C10/14 ,  C03B20/00 H ,  C30B29/06 502B ,  C30B15/10

Fターム (68件)：

4G014AH00 ,  4G062AA11 ,  4G062BB02 ,  4G062CC09 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM01 ,  4G062NN31 ,  4G062NN33 ,  4G062NN34 ,  4G062QQ03 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077HA12 ,  4G077PD01 ,  4G077PD05

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特許第3054362号公報
  
• 特許第3100836号公報
  
• 石英ガラス部材の強化方法と強化処理した石英ガラスルツボ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-295832   出願人：ジャパンスーパークォーツ株式会社

審査官引用 (2件)

• シリカガラス治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-097494   出願人：信越石英株式会社
• 石英ガラス部材の強化方法と強化処理した石英ガラスルツボ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-295832   出願人：ジャパンスーパークォーツ株式会社