特許
J-GLOBAL ID：200903061920584130

プラズマの放射発散を安定化するための装置

発明者：
グイード ヘルゲンハン

グイード ヘルゲンハン について

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クリスチアン ツィーナー

クリスチアン ツィーナー について

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カイ ゲーベル

カイ ゲーベル について


出願人/特許権者：
イクストリーメ テクノロジース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

イクストリーメ テクノロジース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング について


代理人 (1件)： 藤田 アキラ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-072805
公開番号（公開出願番号）：特開2004-303725
出願日： 2004年03月15日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】プラズマの放射発散を安定化させるための装置、特に極紫外線を発生させるための装置において、ターゲットビームへのエネルギー投入により発生するプラズマから短波長線、特にEUV線を安定に発生させるための新たな可能性を提供し、ターゲットビームへの励起線のカップリングの変化による強度変動を最小限にとどめる。 【解決手段】相互作用部位(31)として設けられた交点にしてターゲットビーム(1)の放射方向とエネルギービーム(2)の放射方向との前記交点に対する両放射方向の少なくとも一方のずれを時間的に連続して検出するための測定手段(51,52)であって、相互作用部位(31)に対する両放射方向の指向性を制御するための制御量として適した出力信号を有している前記測定手段(51,52)と、ターゲットビーム(1)の放射方向とエネルギービーム(2)の放射方向との少なくとも一方を測定手段(51,52)の出力信号に依存して調整して追従制御するための制御回路としてのアクチュエータ(54,55)とを設ける。 【選択図】図1
請求項（抜粋）：
プラズマの放射発散を安定化させるための装置、特に極紫外線を発生させるための装置であって、光束化したエネルギービーム(2)がターゲットに対し指向され、ターゲットがターゲットビーム(1)として構成され、且つエネルギービーム(2)の放射方向に対しほぼ直交する放射方向を有している前記装置において、 相互作用部位(31)として設けられた交点にしてターゲットビーム(1)の放射方向とエネルギービーム(2)の放射方向との前記交点に対する両放射方向の少なくとも一方のずれを時間的に連続して検出するための測定手段(51,52)であって、相互作用部位(31)に対する両放射方向の指向性を制御するための制御量として適した出力信号を有している前記測定手段(51,52)と、 ターゲットビーム(1)の放射方向とエネルギービーム(2)の放射方向との少なくとも一方を測定手段(51,52)の出力信号に依存して調整して追従制御するための制御回路としてのアクチュエータ(54,55)と、 が設けられていることを特徴とする装置。
IPC (3件)：
H05G2/00 ,  G21K5/08 ,  H01L31/09
FI (4件)：
H05G1/00 K ,  G21K5/08 X ,  G21K5/08 Z ,  H01L31/00 A
Fターム (6件)：
4C092AA06 ,  4C092AB21 ,  5F088BA07 ,  5F088BB06 ,  5F088JA12 ,  5F088LA05
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • H. Herz WO97/40650,EP0895706
  • M. Schmidt WO01/30122A1
  • E. Noda EP0186491B1
審査官引用 (4件)
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