特許

J-GLOBAL ID：200903070072296447

X線発生装置及びこれを有するX線露光装置及びX線の発生方法

発明者： 近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148395
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340395
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】 安定してX線を発生させる。【解決手段】 本発明のX線発生装置は、パルスレーザー光を減圧された容器中の標的に集光することにより、該標的をプラズマ化し該プラズマよりX線を発生させるX線発生装置において、該標的を構成する物質を前記容器中に送出する標的材料送出部の位置又はその位置の変化を検出する検出部を有することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

パルスレーザー光を減圧された容器中の標的に集光することにより、該標的をプラズマ化し該プラズマよりX線を発生させるX線発生装置において、該標的を構成する物質を前記容器中に送出する標的材料送出部の位置又はその位置の変化を検出する検出部を有することを特徴とするX線発生装置。

Fターム (12件)：

4C092AA06 ,  4C092AA07 ,  4C092AB10 ,  4C092AB11 ,  4C092BD01 ,  4C092BD18 ,  4C092BD20 ,  4C092CE01 ,  4C092CF35 ,  4C092CF38 ,  4C092CF42 ,  4C092DD24

引用特許：

出願人引用 (2件)

• X線発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-218295   出願人：株式会社ニコン
• レーザプラズマX線源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-229174   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (2件)

• X線発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-218295   出願人：株式会社ニコン
• レーザプラズマX線源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-229174   出願人：株式会社ニコン