圧力式流量制御装置

発明者：
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-089464
公開番号（公開出願番号）：特開平11-265217
出願日： 1998年03月17日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】所望の孔径に簡単に設定することができ、安定した流量制御を行うことができるようにした圧力式流量制御装置を提供すること。【解決手段】流体制御弁5の下流側に絞り機構7を設け、この絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧力の約2倍以上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧力式流量制御装置において、前記絞り機構を、前記流体制御弁と同一構造の弁で構成している。

請求項（抜粋）：

流体制御弁の下流側に絞り機構を設け、この絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧力の約2倍以上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧力式流量制御装置において、前記絞り機構を、前記流体制御弁と同一構造の弁で構成したことを特徴とする圧力式流量制御装置。

引用特許：

審査官引用 (8件)

圧力式流量制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-144722 出願人：株式会社フジキン
定流量発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-359977 出願人：株式会社技術開発総合研究所, 繪畑義衛
可変型臨界流ベンチュリ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-114434 出願人：株式会社堀場製作所

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