特許
J-GLOBAL ID：200903062002238919
露光装置及び露光方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-059732
公開番号（公開出願番号）：特開2005-316411
出願日： 2005年03月03日
公開日（公表日）： 2005年11月10日
要約：
【課題】 ステージの移動によって発生する蛇行を検出して、記録媒体に描画される画像の歪みを低減させることができる露光装置及び露光方法を得る。【解決手段】 露光ステージは移動に伴って蛇行が発生して位置ずれが生じるため、記録媒体に露光される画像に歪みが生じる。このため、撮像タイミング毎にCCDカメラによりマーキングを撮像して蛇行によって生じた記録ステージのステージ面に対しての移動方向と交差する交差方向への位置ずれを検出し、画像シフト処理を行うことで記録媒体に露光される画像の歪みを補正している。 画像シフト処理は、ヘッドアッセンブリ毎の画像データの両端に隣の画像領域を分割画像記憶メモリより読み出して付加する。次に、隣接した画像を付加した画像全体を蛇行による変位量に応じてシフトする。次に、シフトした画像に対して、つなぎ目位置でのトリミングを行い、ヘッドアッセンブリが露光を行う画像データを作成する。【選択図】 図10
請求項（抜粋）：
記録ステージ上に載置された記録媒体へ記録ヘッドから画像データに基づく光ビームを結像し、前記記録ヘッドと前記記録ステージとを相対的に移動させて、前記記録媒体に画像を露光する露光装置であって、
前記記録ステージの移動に伴って発生する当該記録ステージのステージ面に対しての移動方向と交差する交差方向への位置ずれを検出する位置ずれ検出手段と、
前記検出手段により検出された前記位置ずれの変位量データを記憶する記憶手段と、
前記画像データが形成する画像の各画素を前記記憶手段に記憶された前記変位量データに基づきシフトさせるシフト手段と、
前記シフト手段によりシフトされた前記画像の画像データに基づき、前記記録媒体への露光を制御する露光制御手段と、
を有することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
2H097AA03
, 2H097AB05
, 2H097BA10
, 2H097DB07
, 2H097KA03
, 2H097KA20
, 2H097LA09
, 2H097LA11
, 5F031CA05
, 5F031HA53
, 5F031HA57
, 5F031JA01
, 5F031JA04
, 5F031JA13
, 5F031JA14
, 5F031JA22
, 5F031JA27
, 5F031JA38
, 5F031LA08
, 5F031MA27
