超音波洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：羽切正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-362915
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176788
出願日： 1997年12月12日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】被洗浄物の表面に対する洗浄効果を低下させずに、被洗浄物の裏面の洗浄を同時に可能にするとともに、洗浄液の少液化を図ること。【解決手段】超音波洗浄装置本体1の下方に長手状に形成された洗浄液導出部22の基板20の外周方向に位置する長手方向一端部に切り欠き凹部22aを設けるとともに、保持台3の上面に基板20の裏面用洗浄液噴出口12を設けることによって、前記保持台上に係合保持された基板20を保持台ごと回転駆動すれば、チャック部材2に阻害されることなく理想的な近接距離に超音波洗浄装置本体1を設置することができ、しかも基板20の裏面の洗浄を表面と同時に行うことができる。

請求項（抜粋）：

被洗浄物を固定保持する保持台と、前記保持台上に設けられ、搬送手段により1枚づつ搬送される被洗浄物を前記保持台上面より一定距離離間した位置で支持する基板支持手段と、前記基板支持手段上に載置された被洗浄物の端部を係合保持する保持手段と、前記保持台を回転駆動する駆動手段と、前記保持台の上方に配置されて前記被洗浄物の略半面に対して超音波洗浄液を噴射する超音波洗浄装置本体とを備え、前記超音波洗浄装置本体は、前記被洗浄物のパターン形成面の最大幅の半分よりも少なくとも長手方向の長さが大である超音波振動子と、前記超音波振動子の面に対して所定の角度傾斜して設けられた反射板と、前記反射板の中央に長手状でかつ下方に突出して形成された洗浄液導出部と、前記洗浄液導出部の中央に長手状に形成されたスリットとを備え、前記洗浄液導出部の長手方向一端部には、前記被洗浄物に対して所定距離接近したとき、深さが前記保持手段と非接触でかつ被洗浄物の端部からの長さが前記被洗浄物のパターン形成面よりも外側となる切り欠き凹部を設けてなることを特徴とする超音波洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 643 , H01L 21/304 , B08B 3/10

FI (3件)：

H01L 21/304 643 A , H01L 21/304 643 D , B08B 3/10 A

引用特許：

審査官引用 (9件)

洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-032016 出願人：株式会社プレテック
特開平4-213826
超音波洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-163037 出願人：株式会社カイジョー

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