オゾン発生装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-418235
公開番号（公開出願番号）：特開2005-053767
出願日： 2003年12月16日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】オゾン発生性能が良好なオゾン発生装置を提供する。【解決手段】高電圧電極に接続された誘電体10と接地電極17とを放電空間26を介して対向させ、その放電空間26に原料ガスを流してオゾンを発生させるオゾン発生装置において、誘電体10に金属膜13からなる高電圧電極を一体に設けたものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

高電圧電極に接続された誘電体と接地電極とを放電空間を介して対向させ、その放電空間に原料ガスを流してオゾンを発生させるオゾン発生装置において、誘電体に金属膜からなる高電圧電極を一体に設けたことを特徴とするオゾン発生装置。

IPC (2件)：

C01B13/11 , H01T23/00

FI (2件)：

C01B13/11 G , H01T23/00

Fターム (10件)：

4G042CA01 , 4G042CC04 , 4G042CC05 , 4G042CC09 , 4G042CC10 , 4G042CC12 , 4G042CC13 , 4G042CC16 , 4G042CC18 , 4G042CC20

引用特許：

出願人引用 (2件)

オゾン発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-120930 出願人：石川島播磨重工業株式会社
特許第2983153号公報

審査官引用 (8件)

オゾン発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-047647 出願人：三菱電機株式会社
オゾン発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-127745 出願人：株式会社ロキテクノ
オゾン発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-378206 出願人：株式会社安川電機

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