特許
J-GLOBAL ID：200903062032306005
研削切断方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160750
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343403
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：
【要約】【課題】 気体抜きの溝を備えた2枚の基板を貼り合わせ、これを個々のチップに切り出すようにする場合の接合面のはがれが、抑制できるようにする。【解決手段】 基板110の断裁領域に配置する気体抜きの溝120は、幅が180〜280μm程度の広溝120aとその広溝120aより幅が狭い狭溝120bとから構成する。
請求項（抜粋）：
第1の基板の端面に端部が到達する第1および第2の溝を所定の幅で所定の深さにマトリクス状に形成する工程と、第2の基板を前記第1の基板の前記第1および第2の溝形成面に貼り合わせて貼り合わせ基板を形成する工程と、回転するブレードにより前記第1の溝に沿って前記貼り合わせ基板を研削切断する工程と、前記回転するブレードにより前記第2の溝に沿って前記貼り合わせ基板を研削切断する工程とを備えた研削切断方法において、前記第1の溝と前記第2の溝との交差箇所に隣接する前記第2の溝の幅を所定の長さにわたって他の領域より狭く形成することを特徴とする研削切断方法。
IPC (2件)：
B24B 27/06
, H01L 21/304 631
B24B 27/06 M
, H01L 21/304 631
3C058AA03
, 3C058AA11
, 3C058AA13
, 3C058CA01
, 3C058CA04
, 3C058CB02
