特許
J-GLOBAL ID：200903062033552620

オクタフルオロシクロペンテン測定装置

発明者：
中野 信夫

中野 信夫 について

, 
山本 明弘

山本 明弘 について


出願人/特許権者：
理研計器株式会社

理研計器株式会社 について


代理人 (1件)： 西川 慶治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-144713
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324491
出願日： 2000年05月17日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：
【要約】【課題】 フッ素系溶媒ガスの存在に関わりなく、管理濃度程度のC5F8を高い信頼性で測定すること。【解決手段】 サンプリングガス中に存在するオクタフルオロシクロペンテンを熱分解して酸性ガスを発生させる熱分解炉1と、炉1から排出されたガスを取り込み、測定領域の光学濃度を検出する光学手段を備えた測定ヘッド14と、酸性ガスと反応して光学的濃度を変化するテープ状に加工された検知紙11を一定時間毎に搬送するテープ搬送手段15とを備え、検出領域を更新しながら測定する。
請求項（抜粋）：
サンプリングガス中に存在するオクタフルオロシクロペンテンを熱分解して酸性ガスを発生させる熱分解手段と、前記熱分解手段から排出されたガスを取り込み、測定領域の光学濃度を検出する光学手段を備えた測定ヘッドと、酸性ガスと反応して光学的濃度を変化するテープ状に加工された検知紙を一定時間毎に搬送するテープ搬送手段とからなるオクタフルオロシクロペンテン測定装置。
IPC (4件)：
G01N 31/12 ,  G01N 1/28 ,  G01N 21/78 ,  G01N 31/22 121
FI (4件)：
G01N 31/12 B ,  G01N 21/78 A ,  G01N 31/22 121 C ,  G01N 1/28 K
Fターム (24件)：
2G042AA01 ,  2G042BD02 ,  2G042CA01 ,  2G042CB01 ,  2G042DA05 ,  2G042DA08 ,  2G042FA11 ,  2G042FB07 ,  2G042FC01 ,  2G042HA07 ,  2G054AA01 ,  2G054AB07 ,  2G054BB13 ,  2G054BB20 ,  2G054CA30 ,  2G054CB03 ,  2G054CE02 ,  2G054EA06 ,  2G054FA34 ,  2G054GB01 ,  2G054GB04 ,  2G054GB05 ,  2G054GE02 ,  2G054GE06
引用特許：
審査官引用 (5件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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