特許
J-GLOBAL ID：200903062069411291
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-244856
公開番号（公開出願番号）：特開平11-072920
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 各種の放射線に有効に感応し、解像度およびパターン形状が優れるとともに、特に狭スペースの加工性能に優れ、かつPEDの影響が小さく、多様な微細パターンを高精度にかつ安定して形成することができる化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)ヒドロキシ(αーメチル)スチレン類に由来する繰返し単位、t-ブチル(メタ)アクリレートに由来する繰返し単位およびt-ブトキシ(αーメチル)スチレン類に由来する繰返し単位を含む共重合体、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)酸拡散制御剤を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)下記式(1)で表される繰返し単位、下記式(2)で表される繰返し単位および下記式(3)で表される繰返し単位を含む共重合体、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)酸拡散制御剤を含有することを特徴とする感放射線性組成物。【化1】(式中、R1 は水素原子またはメチル基を示す。)【化2】(式中、R2 は水素原子またはメチル基を示す。)【化3】(式中、R3 は水素原子またはメチル基を示し、R4 は炭素数4〜10の3級アルキル基を示す。)
IPC (5件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/033
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, G03F 7/033
, H01L 21/30 502 R
