特許
J-GLOBAL ID：200903062125105786

感光性シリコーン樹脂組成物及びその硬化物並びにネガ型微細パターンの形成方法

発明者：
児玉 欣也

児玉 欣也 について

, 
柏木 努

柏木 努 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 小島 隆司 ,  重松 沙織 ,  小林 克成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-169200
公開番号（公開出願番号）：特開2005-004052
出願日： 2003年06月13日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：
【解決手段】エポキシ変性オルガノキシシラン及び(メタ)アクリル変性オルガノキシシラン、又はこれらとオルガノキシシランを、珪素原子結合アルコキシ基を除く全有機基に対し加水分解性のエポキシドを有する基が10モル%以上、(メタ)アクリル官能基を有する基が5モル%以上、モノオルガノトリオルガノキシシランとテトラオルガノキシシランが全シラン量の40モル%以上となる割合で共加水分解縮合して得られ、平均分子量が500〜50,000のアルカリ可溶性シリコーン樹脂、及び光開始剤を含有する感光性シリコーン樹脂組成物。【効果】本発明の樹脂組成物は、有機溶剤を用いず、アルカリ性水溶液で解像でき、感度、解像性に優れ、精細なパターニングを行うことができ、保存安定性に優れ、この硬化被膜は、耐熱性、耐寒性、耐湿性、機械的特性、耐溶剤性、耐メッキ性、光透過性に優れる。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)(i)下記一般式(1): R1XR2YSi(OR3)4-X-Y (1) (式中、R1は加水分解性のエポキシドを一つ以上有する炭素原子数2〜30の一価の有機基を示し、R2は炭素原子数1〜20の一価炭化水素基を示し、R3は水素原子、又は炭素原子数1〜10の非置換もしくは置換の一価炭化水素基を示す。Xは1〜3の整数であり、Yは0〜2の整数であり、1≦X+Y≦3を満足する。) で表される1種又は2種以上のシラン化合物と、(ii)下記一般式(2): R4xR2YSi(OR3)4-X-Y (2) (式中、R4は(メタ)アクリル官能基を一つ以上有する炭素原子数3〜30の一価炭化水素基を示し、R2は炭素原子数1〜20の一価炭化水素基を示し、R3は水素原子、又は炭素原子数1〜10の非置換もしくは置換の一価炭化水素基を示す。Xは1〜3の整数であり、Yは0〜2の整数であり、1≦X+Y≦3を満足する。 ) で表される1種又は2種以上のシラン化合物との混合物、又はこれら(i),(ii)成分と、(iii)下記一般式(3): R2ZSi(OR3)4-Z (3) (式中、R2は炭素原子数1〜20の一価炭化水素基を示し、R3は水素原子、又は炭素原子数1〜10の非置換もしくは置換の一価炭化水素基を示す。Zは0〜3の整数である。) で表される1種又は2種以上のシラン化合物との混合物を、R1で表される有機基数がケイ素原子に結合したアルコキシ基を除く全有機基数に対して10モル%以上、且つR4で表される有機基数が同様にケイ素原子に結合したアルコキシ基を除く全有機基数に対して5モル%以上の割合で、更にモノオルガノトリオルガノキシシラン化合物とテトラオルガノキシシラン化合物との合計量が全シラン化合物の40モル%以上となる割合で共加水分解縮合することにより得られ、重量平均分子量が500〜50,000(GPCによるポリスチレン換算値)であるアルカリ可溶性シリコーン樹脂、及び(B)光開始剤を含有してなる感光性シリコーン樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038
FI (3件)：
G03F7/075 511 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/038 501
Fターム (53件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC77 ,  2H025BC78 ,  2H025CA01 ,  2H025CA14 ,  2H025CA18 ,  2H025CA27 ,  2H025CA31 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J246AA19 ,  4J246AB06 ,  4J246BA12X ,  4J246BA120 ,  4J246BA16X ,  4J246BA160 ,  4J246BA170 ,  4J246BB02X ,  4J246BB020 ,  4J246BB022 ,  4J246CA239 ,  4J246CA249 ,  4J246CA349 ,  4J246CA40X ,  4J246CA409 ,  4J246CA65X ,  4J246CA659 ,  4J246CA67X ,  4J246CA679 ,  4J246CA689 ,  4J246CA69X ,  4J246CA699 ,  4J246FA071 ,  4J246FA131 ,  4J246FA441 ,  4J246FB031 ,  4J246FB081 ,  4J246GA01 ,  4J246GB11 ,  4J246GB32 ,  4J246GC26 ,  4J246GC41 ,  4J246GD08 ,  4J246HA15
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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