特許
J-GLOBAL ID：200903062144506902
電子線による検査装置、検査方法、及びその検査装置を用いたデバイス製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (6件)：
社本 一夫
, 千葉 昭男
, 星野 修
, 神田 藤博
, 内田 博
, 宮前 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-061093
公開番号（公開出願番号）：特開2005-235777
出願日： 2005年03月04日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：
【課題】ウェーハなどの試料の欠陥を検出する検査速度を向上させる。【解決手段】 電子線検査装置は、写像投影型のものであって、電子銃から放出された電子線を矩形に成形し、該成形された電子ビームを検査されるべき試料面上に照射する一次電子光学系と、前記試料から放出された二次電子を収束する二次電子光学系と、前記収束された二次電子を蛍光板を介して光学像に変換し、ラインセンサに結像させる検出装置と、ラインセンサに設けられた画素列において撮像されたライン画像を転送するときの電荷移動時間を、試料を移動させるステージの移動速度に連動して制御する制御装置とを備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電子銃から放出された一次電子線を所望の形状に成形し、該成形された一次電子線を検査されるべき試料面上に照射する一次電子光学系と、
前記試料から放出された二次電子を拡大投影する二次電子光学系と、
前記拡大投影された二次電子像を蛍光板を介して光の像に変換し、ラインセンサで撮像する検出装置と、
前記ラインセンサに設けられた画素列において撮像されたライン画像を転送するときの電荷移動時間を、試料を移動させるステージの移動速度に連動して制御する制御装置とを備えた写像投影型の電子線検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106DB04
, 4M106DB05
, 4M106DJ04
, 4M106DJ07
