特許
J-GLOBAL ID：200903062168924373

光学素子の製造方法

発明者：
向井 勇人

向井 勇人 について


出願人/特許権者：
オムロン株式会社

オムロン株式会社 について


代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-221998
公開番号（公開出願番号）：特開2003-033926
出願日： 2001年07月23日
公開日（公表日）： 2003年02月04日
要約：
【要約】【課題】 光学素子の製造工程において、基板間に成形される樹脂材料の膜厚精度を良好にする。【解決手段】 ステージ1の上に、カバー基板33を載置し、ヘッド部6の下面に、ベース基板32を吸着保持させる。ついで、カバー基板33の上に樹脂材料37を吐出させる。この後、各ストッパ機構14のロッド15を同一突出量だけ突出させてロッド15の先端を同一水平レベルに揃える。ついで、ヘッド部6を下降させ、その下面をロッド15の先端に当接させ、ヘッド部6の下面とステージ1の上面とを平行に揃え、各測長機器13の基準を合わせる。そして、各加減圧調整部11によってヘッド部6を均等に押し下げ、ベース基板32とカバー基板33の間に挟まれた樹脂材料37をステージ1とヘッド部6の間において所定の圧力で加圧し、樹脂材料37をベース基板32とカバー基板33の間に押し広げる。
請求項（抜粋）：
第1の基板を保持する上保持盤と、第2の基板を支持する下保持盤と、前記上保持盤又は前記下保持盤のうちいずれか一方を基準として所定寸法だけ突出させることができる複数のストッパとを備え、前記上保持盤と前記下保持盤とを対向させ、前記上保持盤又は前記下保持盤のうちいずれか他方を前記ストッパの先端に当接させることにより上保持盤と下保持盤を互いに平行に揃えた後、第1の基板と第2の基板の間に挟み込まれた樹脂材料を前記上下保持盤によって加圧し、上下保持盤の加圧力を制御することによって樹脂材料の膜厚を調整することを特徴とする光学素子の製造方法。
IPC (3件)：
B29C 39/10 ,  G02B 3/00 ,  B29L 11:00
FI (4件)：
B29C 39/10 ,  G02B 3/00 A ,  G02B 3/00 Z ,  B29L 11:00
Fターム (11件)：
4F204AD04 ,  4F204AG01 ,  4F204AH73 ,  4F204AP11 ,  4F204AR02 ,  4F204AR06 ,  4F204EA03 ,  4F204EB01 ,  4F204EB11 ,  4F204EF01 ,  4F204EF05
引用特許：
審査官引用 (5件)
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