特許

J-GLOBAL ID：200903062251717363

モノリシック振動ビーム角速度センサ

発明者： ロバート イー.スチュワート
出願人/特許権者： リトン システムズ,インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-046495
公開番号（公開出願番号）：特開平10-318759
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 低コスト、低消費電流の角速度センサを提供する。【解決手段】 モノリシック角速度センサは共通の平坦なシリコン基板から形成される。細長いビームからなるセンサ素子は、共通基板内に形成されたフレーム付き開口部内につるされる。横部材または耳状部材は、細長いビームをフレームとビームの節ポイントとに固定する。単一ビームセンサと複数ビームアレイセンサの両方を、共通のシリコン基板内に形成することができる。共通基板で形成された、直交方向のビーム、またはビームのアレイは、2つの直交軸に関する角速度測定を可能にする。

請求項（抜粋）：

a)細長いビームと、b)前記ビームを収容する内側開口部を有するフレームと、c)前記開口部内に前記ビームをつるす手段と、d)前記ビームに固定され、前記ビームをフレキシブルに駆動する手段と、e)前記ビームに固定され、前記ビームに及ぼされるコリオリ力の存在と大きさを検出する手段と、f)シリコンからなる一体構造になっている前記ビーム、前記つるす手段、及びフレームとの組み合わせからなる角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 振動子の支持構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-294496   出願人：トヨタ自動車株式会社, 株式会社豊田中央研究所
• 振動ジャイロ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-100279   出願人：株式会社村田製作所
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-142764   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭61-114123