特許

J-GLOBAL ID：200903062317048859

液滴吐出方法及び液滴吐出装置、液晶装置の製造方法及び液晶装置、並びに電子機器

発明者： 蛭間 敬 ,  川瀬 智己
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 西 和哉 ,  志賀 正武 ,  青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-198651
公開番号（公開出願番号）：特開2004-122114
出願日： 2003年07月17日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】液状材料の消費量を低減し、スループットを大きく低下させることなく、基板上に液状材料を均一に配置する。【解決手段】液滴吐出装置10は、液状材料を液滴にして吐出するノズルを有する吐出手段21と、ノズルに液状材料を供給する液状材料供給系34と、基板20上に配置される液状材料の量を計測する計測手段23とを備える。液状材料を用いてノズルの洗浄を行うとともに、その洗浄に用いた液状材料の少なくとも一部をそのまま基板20上に配置する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

吐出手段から液状材料を吐出して、基板上に所定量の前記液状材料を配置する液滴吐出方法であって、 前記吐出手段は、前記液状材料を液滴にして吐出するノズルを有し、 前記液状材料を用いて前記ノズルの洗浄を行うとともに、該洗浄に用いた前記液状材料の少なくとも一部をそのまま前記基板上に配置することを特徴とする液滴吐出方法。

IPC (9件)：

B05D1/26 ,  B05C5/00 ,  B05D3/02 ,  G02B5/20 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1337 ,  G02F1/1341 ,  G09F9/00 ,  G09F9/35

FI (9件)：

B05D1/26 Z ,  B05C5/00 101 ,  B05D3/02 A ,  G02B5/20 101 ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1337 ,  G02F1/1341 ,  G09F9/00 338 ,  G09F9/35

Fターム (84件)：

2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H088EA68 ,  2H088FA09 ,  2H088FA17 ,  2H088FA25 ,  2H088FA30 ,  2H088HA03 ,  2H088HA04 ,  2H088HA08 ,  2H088HA12 ,  2H088JA13 ,  2H088MA16 ,  2H088MA17 ,  2H088MA18 ,  2H089NA22 ,  2H089NA31 ,  2H089NA41 ,  2H089NA42 ,  2H089NA44 ,  2H089NA45 ,  2H089NA48 ,  2H089NA49 ,  2H089NA60 ,  2H089QA12 ,  2H089QA13 ,  2H089QA14 ,  2H089QA15 ,  2H089RA10 ,  2H089TA01 ,  2H089TA04 ,  2H089TA05 ,  2H089TA09 ,  2H089TA12 ,  2H090HB08Y ,  2H090HC05 ,  2H090HC18 ,  2H090HD14 ,  2H090JB02 ,  2H090JB03 ,  2H090JB04 ,  2H090KA08 ,  2H090LA03 ,  2H090LA04 ,  2H090MB01 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC84 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075AC94 ,  4D075BB24Y ,  4D075BB65Y ,  4D075CA48 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DB31 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA45 ,  4D075EC07 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA12 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA38 ,  4F041BA47 ,  5C094AA42 ,  5C094AA44 ,  5C094AA55 ,  5C094BA43 ,  5C094FB04 ,  5C094GB01 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10

引用特許：

出願人引用 (4件)

• インク吐出部のフラッシング装置及びインク吐出装置並びにフィルタの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-064068   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 液滴吐出装置とその駆動方法、製膜装置と製膜方法、カラーフィルタの製造方法、有機EL装置の製造方法、及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-058068   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法および洗浄装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機EL装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、PDP装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ELの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-388317   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 逆フラッシング可能なスプレイヤ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-603824   出願人：グラコ・インコーポレーテッド