特許
J-GLOBAL ID：200903080390985630

液滴吐出装置とその駆動方法、製膜装置と製膜方法、カラーフィルタの製造方法、有機EL装置の製造方法、及び電子機器

発明者：
臼田 秀範

臼田 秀範 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-058068
公開番号（公開出願番号）：特開2003-251832
出願日： 2002年03月04日
公開日（公表日）： 2003年09月09日
要約：
【要約】【課題】 生産性を損なうことなく、しかも製膜やパターニングに悪影響を及ぼしたり、装置を汚したりすることが防止されたフラッシングを可能とする、液滴吐出装置とその駆動方法、製膜装置と製膜方法などを提供する。【解決手段】 X軸方向に往復移動可能に構成され、かつ複数のノズルを縦横に整列して備えた液滴吐出ヘッド34と、ステージ39上の基板Sに対し少なくとも一方の側方に設けられたフラッシングエリア41と、液滴吐出ヘッド34による動作を制御する制御装置40とを有し、液滴吐出ヘッド34が、X軸方向に対し斜めに配置された液滴吐出装置30である。制御装置40は、液滴吐出ヘッド34を移動させつつフラッシングエリア内でフラッシング動作を行わせるとともに、少なくとも一つのノズルが予め設定したフラッシングエリア内から外れる位置に到達した際に、全てのノズルのフラッシング動作を停止させる制御をなす。
請求項（抜粋）：
ステージの上方に設けられて基板に対し一の方向に往復移動可能に構成され、かつ、前記基板に液滴を吐出する複数のノズルを縦横に整列して備えた液滴吐出ヘッドと、前記ステージ上の基板に対し、前記一の方向での少なくとも一方の側方に設けられたフラッシングエリアと、前記液滴吐出ヘッドによる動作を制御する制御手段とを有し、前記液滴吐出ヘッドが、前記一の方向に対しそのノズルの列を斜めにして配置された液滴吐出装置であって、前記制御手段は、前記液滴吐出ヘッドを移動させつつフラッシングエリア内で該液滴吐出ヘッドにフラッシング動作を行わせるとともに、少なくとも一つのノズルが予め設定したフラッシングエリア内から外れる位置に到達した際に、全てのノズルのフラッシング動作を停止させる制御をなすように構成されたことを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (7件)：
B41J 2/18 ,  B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 ,  B41J 2/01 ,  B41J 2/185 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505
FI (6件)：
B05C 5/00 101 ,  B05D 1/26 Z ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  B41J 3/04 102 R ,  B41J 3/04 101 Z
Fターム (48件)：
2C056EA14 ,  2C056EA16 ,  2C056EB36 ,  2C056EC08 ,  2C056EC21 ,  2C056EC43 ,  2C056EC54 ,  2C056FA04 ,  2C056FA15 ,  2C056FB01 ,  2C056HA22 ,  2C056JC23 ,  2H048BA11 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB37 ,  2H091FA02Y ,  2H091FB13 ,  2H091FC12 ,  2H091FC29 ,  2H091FC30 ,  2H091FD04 ,  2H091FD14 ,  2H091FD24 ,  2H091LA03 ,  2H091LA11 ,  2H091LA12 ,  2H091LA15 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC84 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075CA47 ,  4D075CB08 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EC11 ,  4D075EC17 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB02 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA60
引用特許：
審査官引用 (4件)
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