特許
J-GLOBAL ID：200903062347750590
光ファイバ成膜装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-293746
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116931
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 複数本の光ファイバを一括収容固定して回転駆動中に生ずる遠心力によっても光ファイバを分散させない光ファイバホルダを具備する光ファイバ成膜装置を提供する。【解決手段】 スパッタ成膜装置の真空チャンバ60に気密に貫通挿入される回転軸631により回転駆動される回転ホルダ11と回転ホルダ11に固定されるケーシング12より成る光ファイバホルダ80を具備し、光ファイバホルダ80内に収容取り付けられる光ファイバ保持ケース13を複数個具備し、光ファイバ83をその成膜されるべき先端部を外部に露出して光ファイバ保持ケース13に保持すると共に、光ファイバ保持ケース13をその光ファイバ83の先端部を外部に露出した端部を露出して回転ホルダ11に取り付けた光ファイバ成膜装置。
請求項（抜粋）：
スパッタ成膜装置の真空チャンバに気密に貫通挿入される回転軸により回転駆動される回転ホルダと回転ホルダに固定されるケーシングより成る光ファイバホルダを具備し、光ファイバホルダ内に収容取り付けられる光ファイバ保持ケースを複数個具備し、光ファイバをその成膜されるべき先端部を外部に露出して光ファイバ保持ケースに保持すると共に、光ファイバ保持ケースをその光ファイバの先端部を外部に露出した端部を露出して回転ホルダに取り付けたことを特徴とする光ファイバ成膜装置。
IPC (4件)：
G02B 6/00 356
, C03C 25/42
, C23C 14/34
, G02B 6/10
G02B 6/00 356 Z
, C23C 14/34 J
, G02B 6/10 D
, C03C 25/02 F
2H050AC89
, 2H050AC90
, 4G060AD12
, 4G060AD58
, 4K029AA08
, 4K029AA23
, 4K029BB02
, 4K029BC08
, 4K029BD00
, 4K029CA05
, 4K029DA10
, 4K029DC16
, 4K029JA02
, 4K029JA06
出願人引用 (3件)
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成膜用光ファイバ用ホルダ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-029484
出願人：日本航空電子工業株式会社
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光ファイバの収納方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-128322
出願人：古河電気工業株式会社, 日本電信電話株式会社
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特開昭61-288107
審査官引用 (1件)
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