特許
J-GLOBAL ID：200903062387332694

感光性ペースト

発明者：
正木 孝樹

正木 孝樹 について

, 
堀内 健

堀内 健 について

, 
井口 雄一朗

井口 雄一朗 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-167650
公開番号（公開出願番号）：特開平11-015145
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にすると共に焼成して形成される隔壁の着色や剥がれなどの欠陥を解消することができる感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、無機微粒子としてガラス粉末を用い、そのガラス粉末のガラス転移点が480〜510°C、ガラス軟化点が510〜540°C、かつ平均粒子径が2〜3.5μm、トップサイズ15μm以下であることを特徴とするガラス成分を用いることによって達成される。
請求項（抜粋）：
無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストにおいて、無機微粒子としてガラス転移点480〜510°Cおよびガラス軟化点510〜540°Cを有し、かつ平均粒子径2〜3.5μm、トップサイズ15μm以下であるガラス粉末を用いることを特徴とする感光性ペースト。
IPC (5件)：
G03F 7/004 501 ,  C03C 8/24 ,  C08K 3/40 ,  C08L101/00 ,  H01J 9/02
FI (5件)：
G03F 7/004 501 ,  C03C 8/24 ,  C08K 3/40 ,  C08L101/00 ,  H01J 9/02 F
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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