感光性ペースト

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-167654
公開番号（公開出願番号）：特開平11-015148
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精細な隔壁パターンの加工が可能な感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分を必須成分し、該感光ペーストの塗布膜表面でのg線波長光の全反射率が10%以下で、かつg線波長光の正規反射率が10%以上である感光性ペーストとする。

請求項（抜粋）：

無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、塗布膜表面でのg線波長光の全反射率が10%以下であり、かつg線波長光の正規反射率が10%以上であることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (5件)：

G03F 7/004 505 , G03F 7/004 501 , C03C 8/24 , C09D 5/00 , H01J 9/02

FI (5件)：

G03F 7/004 505 , G03F 7/004 501 , C03C 8/24 , C09D 5/00 C , H01J 9/02 F

引用特許：

審査官引用 (5件)

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