レーザ超音波検査装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：波多野久 , 関口俊三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-053558
公開番号（公開出願番号）：特開2009-115830
出願日： 2009年03月06日
公開日（公表日）： 2009年05月28日
要約：

【課題】水中環境下において高感度に信号を検知するとともに、ノイズを効率的に低減する。【解決手段】被検査材3に超音波USを発生させるための第1のレーザ光PLを発振する第1のレーザ光源1と、被検査材3に発生した超音波信号を受信するために被検査材3に照射される第2のレーザ光ILを発振する第2のレーザ光源4と、第2のレーザ光ILの被検査材3表面における反射成分から超音波USに関する情報を光学的に検知するための受信用光学系OPと、受信用光学系OPにおいて受信された超音波信号を電気信号に変換する位相共役素子5と、位相共役素子5の出力信号を信号処理し、超音波USの伝播に関する情報を表示および記録する信号処理装置10と、を備え、第1のレーザ光源PLがQスイッチパルスレーザ光源であって、発振するパルス光のパルス幅が100ナノ秒から1マイクロ秒の範囲で可変なパルス幅可変レーザ光源である。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

被検査材に超音波を発生させるための第1のレーザ光を発振する第1のレーザ光源と、前記被検査材に発生した超音波信号を受信するために前記被検査材に照射される第2のレーザ光を発振する第2のレーザ光源と、前記第2のレーザ光の前記被検査材表面における反射成分から前記超音波に関する情報を光学的に検知するための受信用光学系と、前記受信用光学系において受信された超音波信号を電気信号に変換する信号変換手段と、前記信号変換手段の出力信号を信号処理し、超音波の伝播に関する情報を表示および記録する信号処理装置と、を備え、前記第1のレーザ光源がQスイッチパルスレーザ光源であって、発振するパルス光のパルス幅が100ナノ秒から1マイクロ秒の範囲で可変なパルス幅可変レーザ光源であることを特徴とするレーザ超音波検査装置。

IPC (1件)：

G01N 29/00

FI (1件)：

G01N29/00 501

Fターム (17件)：

2G047AA06 , 2G047AC01 , 2G047BA01 , 2G047BA03 , 2G047BB06 , 2G047BC07 , 2G047CA04 , 2G047CB03 , 2G047DB03 , 2G047EA05 , 2G047GA02 , 2G047GE02 , 2G047GE05 , 2G047GF06 , 2G047GF25 , 2G047GG24 , 2G047GG28

引用特許：

審査官引用 (12件)

超音波検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-115171 出願人：新日本製鐵株式会社
透明薄膜の厚さ及び音速の同時測定法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-146533 出願人：新日本製鐵株式会社
レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-028008 出願人：株式会社東芝, 東芝エンジニアリング株式会社

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