シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：波多野久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-251466
公開番号（公開出願番号）：特開2000-086383
出願日： 1998年09月04日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：

【要約】【課題】シリコン単結晶引上げ時の単結晶化歩留りを向上せしめる石英ガラスルツボおよびその製造方法を提供する。【解決手段】アーク放電を行い石英ガラスルツボを製造するのに用いるカーボン電極11中の硫黄成分含有量を1ppm以下にする。

請求項（抜粋）：

多数の気泡を含む不透明石英ガラス層と、この内表面に形成された透明石英ガラス層とを有するシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボにおいて、上記透明石英ガラス層の内表面から少なくとも厚さ1mmの領域に1×10-7〜3×10-3mm3/mm3の気泡を含有し、この気泡に含まれる硫黄化合物ガスの含有量が前記気泡に含まれる全ガス量に対して50容積%以下であることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ。

IPC (4件)：

C30B 15/10 , C03B 20/00 , C30B 29/06 502 , H05B 7/085

FI (4件)：

C30B 15/10 , C03B 20/00 H , C30B 29/06 502 B , H05B 7/085 B

Fターム (12件)：

3K084AA12 , 3K084BA08 , 3K084CA07 , 3K084CA09 , 4G014AH02 , 4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF00 , 4G077EG02 , 4G077EG05 , 4G077PD01 , 4G077PD08

引用特許：

審査官引用 (4件)

石英るつぼの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-040766 出願人：住金石英株式会社
特開平4-119986
シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-166282 出願人：東芝セラミックス株式会社

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