特許
J-GLOBAL ID：200903062511039666

レーザー加工品の製造方法、およびそれに用いるレーザー加工用粘着シート

発明者：
浦入 正勝

浦入 正勝 について

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日野 敦司

日野 敦司 について

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松尾 直之

松尾 直之 について

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高橋 智一

高橋 智一 について


出願人/特許権者：
日東電工株式会社

日東電工株式会社 について


代理人 (4件)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-095875
公開番号（公開出願番号）：特開2005-279698
出願日： 2004年03月29日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】 レーザー光のアブレーションにより被加工物を加工する場合に、分解物による被加工物表面の汚染を効果的に抑制して、生産効率よくかつ容易にレーザー加工品を製造する方法を提供する。【解決手段】 レーザー加工品の製造方法は、レーザー加工用粘着シート2として、基材上に少なくとも粘着剤層が設けられたものであって、下記式で表される引張強度の比が1未満であるものを使用し、前記被加工物1のレーザー光出射面側に該粘着剤層を介してレーザー加工用粘着シート2を貼り合わせる工程と、前記被加工物1がアブレーションを引き起こす閾値の照射強度以上であって、該被加工物1に貫通孔が形成される照射強度の2倍以内のレーザー光6を照射して、該被加工物1を加工する工程と、前記レーザー加工用粘着シート2を加工後の前記被加工物1から剥離する工程とを含む。【数1】【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レーザー加工用粘着シートを用いて、波長が紫外域のレーザー光または多光子吸収過程を経由した紫外域の光吸収を可能とするレーザー光を被加工物に照射し、該被加工物をアブレーションにより加工するレーザー加工品の製造方法であって、 前記レーザー加工用粘着シートとして、基材上に少なくとも粘着剤層が設けられたものであって、下記式で表される引張強度の比が1未満であるものを使用し、前記被加工物のレーザー光出射面側に該粘着剤層を介してレーザー加工用粘着シートを貼り合わせる工程と、 前記被加工物がアブレーションを引き起こす閾値の照射強度以上であって、該被加工物に貫通孔が形成される照射強度の2倍以内のレーザー光を照射して、該被加工物を加工する工程と、 前記レーザー加工用粘着シートを加工後の前記被加工物から剥離する工程とを含むことを特徴とするレーザー加工品の製造方法。
IPC (5件)：
B23K26/18 ,  B23K26/00 ,  B23K26/16 ,  C09J7/02 ,  H01L21/301
FI (7件)：
B23K26/18 ,  B23K26/00 320Z ,  B23K26/00 330 ,  B23K26/16 ,  C09J7/02 Z ,  H01L21/78 B ,  H01L21/78 M
Fターム (13件)：
4E068CA02 ,  4E068CA04 ,  4E068CF03 ,  4E068DA00 ,  4J004AA01 ,  4J004AA05 ,  4J004AA10 ,  4J004AB01 ,  4J004AB06 ,  4J004CA04 ,  4J004CC02 ,  4J004FA08 ,  4J004FA10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)
  • マスキングテープ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-124767   出願人：積水化学工業株式会社

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