特許

J-GLOBAL ID：200903062522262898

鏡面研磨方法

発明者： 田中 敬
出願人/特許権者： スピードファム・アイペック株式会社
代理人 (1件)： 塚原 孝和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-259945
公開番号（公開出願番号）：特開2000-084842
出願日： 1998年09月14日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：

【要約】【課題】 研磨パッド上でウエハを8の字状に揺動させた後、ウエハを任意方向に揺動させることで、ウエハのTTVの劣化をほぼ完全に防止することができる鏡面研磨方法を提供する。【解決手段】 回転押圧過程において、回転する下定盤2の研磨パッド3上に、キャリア1-1,1-2で保持したウエハWを回転させながら押圧し、前揺動過程において、ウエハWを研磨パッド3のY軸方向に沿って8の字に揺動させる。しかる後、前揺動過程においてウエハWが接触した研磨パッド3の領域内で、ウエハWを楕円状に揺動させる。

請求項（抜粋）：

回転する下定盤の表面に貼着されている研磨パッド上に、キャリアで保持したウエハを回転させながら押圧する回転押圧過程と、上記ウエハを研磨パッドの半径方向であるY軸方向に沿って8の字に揺動させる前揺動過程と、上記前揺動過程後に、上記前揺動過程においてウエハが接触した研磨パッドの領域内で、上記ウエハを任意方向に揺動させる後揺動過程とを具備することを特徴とする鏡面研磨方法。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 621

FI (2件)：

B24B 37/04 G ,  H01L 21/304 621 D

Fターム (14件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AA18 ,  3C058AB01 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058BC02 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058CB10 ,  3C058DA06 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 基板の研磨方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-143129   出願人：株式会社荏原製作所
• 特開平1-153266
  
• 超精密面研磨方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-152376   出願人：今橋孝弘