特許
J-GLOBAL ID:200903062551545211

エンコーダ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 永井 冬紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-165159
公開番号(公開出願番号):特開2005-003438
出願日: 2003年06月10日
公開日(公表日): 2005年01月06日
要約:
【課題】装置設計の自由度が高く、組立・調整のしやすいエンコーダの提供。【解決手段】光源1からの出射光がコリメータレンズ2で平行光8とされた後に格子3に入射すると、格子3からは1次回折光9a,9bが出射される。1次回折光9a,9bは格子4によって回折された後に、シリンドリカルレンズ5によって格子6上に集光される。格子6上における回折光9a,9bの集光位置は、y方向に距離d1だけずれている。そのため、格子6を出射した回折光9a,9bは、y方向に明暗パターンが並んだ干渉縞パターン10を検出部7上に形成する。一方、格子6は可動体に固定されており、可動体とともにx方向に移動する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
可動物体に固定され、前記可動物体の移動方向に配列された複数の格子を有する回折格子と、 光源からの光から2つの光束を形成する光束形成手段と、 前記2つの光束を前記回折格子上において所定間隔だけずらして集光する光学素子と、 前記回折格子から出射される光束の干渉による干渉縞を検出する検出部とを備えることを特徴とするエンコーダ。
IPC (1件):
G01D5/36
FI (1件):
G01D5/36 S
Fターム (7件):
2F103CA01 ,  2F103CA02 ,  2F103CA04 ,  2F103DA12 ,  2F103EA15 ,  2F103EB33 ,  2F103EC01
引用特許:
出願人引用 (3件)

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