特許
J-GLOBAL ID：200903062603360789
FE型X線ラジオグラフィーシステム及びそれに用いるFEエミッターの製造方法
出願人/特許権者：
独立行政法人 科学技術振興機構
独立行政法人 科学技術振興機構 について
代理人 (1件)： 山口 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-133604
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335420
出願日： 2003年05月12日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：
【課題】電子線源の格段の小型化と、FE型の寿命で安定なX線ラジオグラフィーシステムの提供と、それに用いるFEエミッターの製造方法を提供する。【解決手段】本発明の特徴とするPdエミッター1に電源9の電流を、本発明の特徴とする電流安定化装置8を介して電圧供給する。同様に、引出電極となるゲート2には、電源9と電流安定化装置8を介して引き出し電圧を印加する。Pdエミッター1により放出されるFE電子流はレンズ3により収束された電子線となり、電源10により付勢された金属ターゲット4に衝突させられてX線を発生し、Beの窓5を介して被検査物である試料6に照射される。試料6を透過したX線はX線フィルム7に結像される。FE電子流は引き出し電圧によって決まるので、本発明はこの引き出し電圧をフィード・バック回路で自動的に制御し、電流を安定化することにより、FE電子流を制御するものである。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
電界電子放出源と引出電極と電子レンズとターゲットとから成る四極構造を構成し、該電界電子放出源により放出されるFE電子流が電子レンズにより収束された電子線を、金属ターゲットに衝突させて発生するX線をBe(ベリリウム)でなる窓を介して照射される被検査体の試料とから成り、前記電界電子放出源は空間的に分散したPdナノ金属粒子から成るPdエミッターで構成し、該Pdエミッターから放出される電子流の変動幅を小さく抑えるためのフィードバック機能をもつ電源安定化装置を有することを特徴とするFE型X線ラジオグラフィーシステム。
IPC (4件)：
FI (6件)：
Fターム (18件)：
4C092AA01
, 4C092AB19
, 4C092AB27
, 4C092AC08
, 4C092BD08
, 4C092BD19
, 4C092BD20
, 5C127AA11
, 5C127BA15
, 5C127BB02
, 5C127DD32
, 5C127DD67
, 5C127EE07
, 5C135AA15
, 5C135AB02
, 5C135AC09
, 5C135GG11
, 5C135HH07
引用特許：
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved