特許

J-GLOBAL ID：200903062604386684

可燃性ガスセンサ

発明者： 申 ウソク ,  村山 宣光
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
代理人 (1件)： 須藤 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-198038
公開番号（公開出願番号）：特開2003-156461
出願日： 2002年07月05日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】 可燃性ガスセンサを提供する。【解決手段】 可燃性ガスと触媒材との触媒反応による発熱を、熱電変換効果により電圧信号に変換し、それを検出信号として検出するガス検出センサであって、被検出ガスと接触して触媒反応を起こす触媒材と、この反応による発熱から発生する局部的な温度差を電圧信号に変換する熱電変換材料膜を構成要素として含むことを特徴とする可燃性ガス検出センサ。【効果】 室温作動で、シリコンチップへの集積化が可能であり、検出ガスによる抵抗変化が殆ど無く、特定ガスの選択的識別及び定量測定が可能であり、信頼度、秒単位の高速応答性、くり返し特性に優れたガス検出センサが得られる、という効果を奏する。

請求項（抜粋）：

可燃性ガスと触媒材との触媒反応による発熱を、熱電変換効果により電圧信号に変換し、それを検出信号として検出するガス検出センサであって、被検出ガスと接触して触媒反応を起こす触媒材と、この反応による発熱から発生する局部的な温度差を電圧信号に変換する熱電変換材料膜を構成要素として含むことを特徴とする可燃性ガス検出センサ。

IPC (5件)：

G01N 25/22 ,  G01K 7/16 ,  G01N 25/32 ,  G01N 27/416 ,  H01L 37/00

FI (5件)：

G01N 25/22 ,  G01K 7/16 B ,  G01N 25/32 ,  H01L 37/00 ,  G01N 27/46 371 G

Fターム (8件)：

2G040AA02 ,  2G040AB16 ,  2G040BA23 ,  2G040BB01 ,  2G040BB10 ,  2G040CA01 ,  2G040CA13 ,  2G040DA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭55-156847
  
• 熱電変換素子用酸化物部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-141192   出願人：工業技術院長, 株式会社ノリタケカンパニーリミテド
• 特許第3051922号
  
• 水素ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-292656   出願人：富士電機株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• "TIN DIOXIDE GAS SENSORS: USE OF THE SEEBECK EFFECT"