特許

J-GLOBAL ID：200903062750989668

流体加熱装置

発明者： 宮崎 弘明 ,  清水 健児 ,  内藤 宏之
出願人/特許権者： 小松エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-253548
公開番号（公開出願番号）：特開平9-096439
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】 メンテナンスが容易で、信頼性の高い流体加熱装置を提供する【解決手段】 外管1と、前記外管1内に挿通せしめられた内管2と、この内管2内に挿通せしめられたハロゲンランプ3と、前記外管と内管との間にできる空間を流路4とし、加熱すべき流体を通過させて加熱するように構成された流体加熱装置において、前記ハロゲンランプ3は、それぞれフィラメント7を収納し、互いに並行せしめられた2本の石英管5と、両端部でこれらを一体的に支持する第1および第2の支持部9a,9bとを具備し、第1の支持部側で2本のフィラメントを電気的に接続するとともに、前記第2の支持部側から電極リード10が導出せしめられたシングルエンド構造をなし、前記内管の一端にストッパSが配設せしめられ、前記ハロゲンランプは、前記第1の支持部9aから前記内管内に挿通せしめられ、前記第1の支持部9aと前記ストッパSとの係合によって、固定されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

外管と、前記外管内に挿通せしめられた内管と、この内管内に挿通せしめられたハロゲンランプと、前記外管と内管との間にできる空間を流路とし、加熱すべき流体を通過させて加熱するように構成された流体加熱装置において、前記ハロゲンランプは、それぞれフィラメントを収納し、互いに並行せしめられた2本の石英管と、前記2本の石英管を両端部で一体的に支持する第1および第2の支持部とを具備し、第1の支持部側で2本のフィラメントを電気的に接続するとともに、前記第2の支持部側から電極リードが導出せしめられたシングルエンド構造をなし、前記内管の一端にストッパが配設せしめられ、前記ハロゲンランプは、前記第1の支持部から前記内管内に挿通せしめられるとともに、前記第1の支持部と前記ストッパとの係合によって、固定されることを特徴とする流体流体加熱装置。

IPC (2件)：

F24H 1/10 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

F24H 1/10 D ,  H01L 21/30 572 B

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 流体加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-244994   出願人：株式会社小松製作所
• 特開昭60-143564
  
• 薄膜形成用基板加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-058525   出願人：富士電機株式会社
• 流体加熱器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-168738   出願人：株式会社小松製作所

審査官引用 (4件)

• 流体加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-244994   出願人：株式会社小松製作所
• 特開昭60-143564
  
• 薄膜形成用基板加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-058525   出願人：富士電機株式会社
• 流体加熱器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-168738   出願人：株式会社小松製作所