特許
J-GLOBAL ID：200903062829619360

基板収納容器

発明者：
戸田 順也

戸田 順也 について

, 
中山 孝行

中山 孝行 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (3件)： 荒井 鐘司 ,  河野 尚孝 ,  嶋崎 英一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-070470
公開番号（公開出願番号）：特開2005-256983
出願日： 2004年03月12日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【課題】 本発明は、基板収納容器に取り付けられる、搬送用の取付部材や基板加工装置への位置決め用のボトムプレート等の取付部材を、基板収納容器に固着するために使用される螺刻部材に、緩み防止手段を設けることを課題とする。【解決手段】 本発明の基板収納容器は、容器本体1と蓋体2とからなる基板収納容器であって、この基板収納容器に螺刻部材3によって取り付けられる取付部材6の固着が、螺刻部材(雄ネジ)3と取付部材6との、両者が接触するそれぞれの面に設けられる緩み防止手段を介して行われる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
容器本体と蓋体とからなる基板収納容器であって、当該基板収納容器に螺刻部材によって取り付けられる取付部材の固着が、螺刻部材(雄ネジ)と前記取付部材との、両者が接触するそれぞれの面に設けられる緩み防止手段を介して行われていることを特徴とする基板収納容器。
IPC (5件)：
F16B39/282 ,  B65D85/86 ,  F16B39/24 ,  F16B43/00 ,  H01L21/68
FI (5件)：
F16B39/282 A ,  F16B39/24 B ,  F16B43/00 B ,  H01L21/68 T ,  B65D85/38 R
Fターム (28件)：
3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB03 ,  3E096CA01 ,  3E096CA08 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA01 ,  3E096DA05 ,  3E096DA23 ,  3E096DA30 ,  3E096DB01 ,  3E096DC01 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096FA09 ,  3E096GA01 ,  3E096GA07 ,  3J034BA04 ,  3J034DA03 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA14 ,  5F031EA18 ,  5F031PA11
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 基板収納容器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-112509   出願人：信越ポリマー株式会社
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM