特許
J-GLOBAL ID：200903062834005949
光学素子およびその製造方法
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-364889
公開番号（公開出願番号）：特開2004-184986
出願日： 2003年10月24日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】シリコン細線導波路を痛めることなく、モードフィールドサイズ変換部をより簡便に作製する。【解決手段】光学素子は、第1の光導波路(シリコン細線導波路)7とモードフィールドサイズ変換部8と第2の光導波路9とから構成される。第1の光導波路9のオーバークラッド層20とモードフィールドサイズ変換部8および第2の光導波路9のコア3とに同じ材料を用いることにより、オーバークラッド層20とコア3とを同時に作製する。コア3の作製の際には、コア3の光の進行方向に対して左右対称な2つの領域をエッチング領域として、コア3の材料を除去し、それ以外の領域はコア3の材料が削られずに残るようにする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
全体として平板状のアンダークラッドと、
このアンダークラッド上に配置された断面が四角形のシリコンからなる第1のコアと、
前記アンダークラッド上に前記第1のコアの端部と一体に連結して配置され、先端に向かって漸次断面積が小さくなる断面が四角形のシリコンからなるテーパ部と、
このテーパ部を覆うように配置された第2のコアと、
前記第1のコアを覆うように配置された第1のオーバークラッドとを備え、
前記アンダークラッドと前記第1のコアと前記第1のオーバークラッドとは、第1の光導波路を構成し、
前記アンダークラッドと前記テーパ部と前記第2のコアとは、モードフィールドサイズ変換部を構成し、
前記アンダークラッドと前記第2のコアとは、第2の光導波路を構成し、
前記第1のオーバークラッドは、前記第2のコアと一体に連結して形成された、前記第2のコアと同材料からなることを特徴とする光学素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2H047KA04
, 2H047KA13
, 2H047MA05
, 2H047PA01
, 2H047PA21
, 2H047PA24
, 2H047QA02
, 2H047QA05
, 2H047TA32
出願人引用 (1件)
-
光導波路接続構造
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-317463
出願人：日本電信電話株式会社
審査官引用 (3件)
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