ラジカルガン

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-368133
公開番号（公開出願番号）：特開2003-249490
出願日： 2002年12月19日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：

【要約】【課題】長期間にわたり安定した加工特性を維持できる長寿命のラジカルガンを提供する。【解決手段】プラズマ中の反応ガスの解離によって生成した活性ラジカルを射出する射出口を有する絶縁性の容器4と、反応ガスを射出口に向けて導く反応ガス供給路16と、容器内で反応ガス供給路を流れる反応ガスと混じり合わないように不活性ガスを射出口に向けて導く不活性ガス供給路15と、不活性ガス供給路の開口端部により構成される放電電極11と、この放電電極と向き合うように配置され、放電電極から絶縁されたアース電極7と、放電電極に接続され、放電電極とアース電極との間に放電プラズマを発生させる電源17と、反応ガス供給路と放電プラズマ発生領域との間に設けられ、反応ガス供給路を通って放電プラズマ発生領域に導入される反応ガスを、不活性ガス供給路を通って放電プラズマ発生領域に導入される不活性ガスと合流させる絞り機構13とを有する。

請求項（抜粋）：

放電プラズマ発生領域を規定し、該領域にて発生させた放電プラズマ中の反応ガスの解離によって生成した活性ラジカルを射出するための射出口を有する絶縁性の容器と、この容器内を通過して前記射出口に連通し、前記反応ガスを前記射出口に向けて導く反応ガス供給路と、前記容器内を通過して前記射出口に連通し、かつ前記容器内で前記放電プラズマ発生領域に到達するまでの間において前記反応ガス供給路を流れる前記反応ガスと混じり合わないように不活性ガスを前記射出口に向けて導く不活性ガス供給路と、前記不活性ガス供給路が前記放電プラズマ発生領域において開口する前記不活性ガス供給路の開口端部により構成される放電電極と、この放電電極と向き合うように配置され、前記放電電極から絶縁されたアース電極と、前記放電電極に接続され、前記放電電極と前記アース電極との間に放電プラズマを発生させる電源と、前記反応ガス供給路と前記放電プラズマ発生領域との間に設けられ、前記反応ガス供給路を通って前記放電プラズマ発生領域に導入される反応ガスを、前記不活性ガス供給路を通って前記放電プラズマ発生領域に導入される不活性ガスと合流させる絞り機構と、を具備することを特徴とするラジカルガン。

IPC (4件)：

H01L 21/3065 , H05H 1/30 , H05H 1/34 , H05H 1/42

FI (4件)：

H05H 1/30 , H05H 1/34 , H05H 1/42 , H01L 21/302 101 E

Fターム (11件)：

5F004AA06 , 5F004BA03 , 5F004BA11 , 5F004BB02 , 5F004BB13 , 5F004DA01 , 5F004DA04 , 5F004DA18 , 5F004DA22 , 5F004DA25 , 5F004DB01

引用特許：

出願人引用 (3件)

特許第2521127号公報
加工用電極
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-074465 出願人：森勇藏, 株式会社ユーハ味覚糖精密工学研究所
プラズマ表面加工方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-135247 出願人：東芝機械株式会社

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