プラズマ表面加工方法及びその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-135247
公開番号（公開出願番号）：特開平8-323699
出願日： 1995年06月01日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：

【要約】【目的】被加工物表面の物理的ダメージ及び異物による汚染を最小限に抑え、且つ表面形状の創成に適したプラズマ表面加工方法とその装置を提供することを目的とする。【構成】被加工物を構成する原子及び分子のいずれか一方と反応して生成される揮発性化合物を気化させるプラズマ化された反応ガスを用いた表面加工装置において、反応ガスをプラズマ化するプラズマ生成室と、被加工物に対向して配置され、プラズマ生成室から供給されたプラズマ化された反応ガスを被加工物に噴射する加工ヘッドと、反応で生成される揮発性化合物を排気する排気口を有し、加工ヘッド及び被加工物を収容するための反応容器とを有するプラズマ表面加工装置を用いて、加工ヘッドから噴射されるガスが、加工ヘッドと被加工物との間隙を平行且つ等方的に流れるように構成されている。

請求項（抜粋）：

被加工物を構成する原子及び分子のいずれか一方と反応し、この反応で生成される揮発性化合物を気化させるためのプラズマ化した反応ガスを生成するプラズマ生成室と、被加工物に対向して配置され、前記プラズマ生成室でプラズマ化された反応ガスを被加工物に噴射する加工ヘッドと、この加工ヘッド及び被加工物を収容する反応容器とを有する加工装置において、前記加工ヘッドから噴射されるガスが、前記加工ヘッドと被加工物との間隙を平行且つ等方的に流れることを特徴とするプラズマ表面加工方法。

IPC (3件)：

B26F 3/00 , C23F 4/00 , H01L 21/3065

FI (3件)：

B26F 3/00 Z , C23F 4/00 A , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

ドライエッチング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-308361 出願人：住友金属工業株式会社
特開昭64-075690
ドライエッチング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-291810 出願人：ソニー株式会社

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