特許

J-GLOBAL ID：200903062844511583

マイクロレンズおよびマイクロレンズアレイの作製法

発明者： 山田 啓司 ,  上田 隆司 ,  細川 晃
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 長瀬 成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-069658
公開番号（公開出願番号）：特開2003-266553
出願日： 2002年03月14日
公開日（公表日）： 2003年09月24日
要約：

【要約】【課題】直径が数百マイクロメータのプラスチック製のマイクロレンズあるいはそのようなレンズを有するマイクロレンズアレイの作製法を提供する。【解決手段】ワークピースをX-Y方向に移動し、ワークピース上に所定箇所に集光したレーザ光を照射し、ワークピースを局所加熱することによりワークピースを膨張させ前記ワークピース上に多数のレンズを作製する。具体的には透明材でも熱吸収が可能な赤外線レーザを用いて、プラスチック表面に焦点を合わせ、開口径に応じた所定時間レーザ光を照射し、熱膨張、材料軟化を引き起こすことにより、所定のレンズ形状を得る。

請求項（抜粋）：

ワークピースに集光したレーザ光を照射し、ワークピースを局所加熱することによりワークピースを膨張させレンズを作製することを特徴とするマイクロレンズの作製法。

IPC (5件)：

B29D 11/00 ,  B23K 26/00 ,  B81C 5/00 ,  G02B 3/00 ,  B29K101:12

FI (5件)：

B29D 11/00 ,  B23K 26/00 G ,  B81C 5/00 ,  G02B 3/00 A ,  B29K101:12

Fターム (17件)：

4E068AH00 ,  4E068CE04 ,  4E068DB10 ,  4F213AC03 ,  4F213AH75 ,  4F213WA12 ,  4F213WA38 ,  4F213WA53 ,  4F213WA86 ,  4F213WA90 ,  4F213WA92 ,  4F213WB01 ,  4F213WK03 ,  4F213WW06 ,  4F213WW15 ,  4F213WW21 ,  4F213WW26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• マイクロレンズの製造方法及び製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-170201   出願人：株式会社町田製作所
• マイクロレンズアレー用金型の製造方法及びマイクロレンズアレー用原盤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-256823   出願人：日本コロムビア株式会社
• 光学デバイスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-313233   出願人：リコー光学株式会社