特許
J-GLOBAL ID：200903062852240076

被研磨物保持用のバッキング材の製造方法

発明者：
山田 博行

山田 博行 について

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川端 克昌

川端 克昌 について

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前田 直也

前田 直也 について


出願人/特許権者：
ロデール・ニッタ株式会社

ロデール・ニッタ株式会社 について

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日東シンコー株式会社

日東シンコー株式会社 について


代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-165891
公開番号（公開出願番号）：特開2002-355754
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月10日
要約：
【要約】【課題】 被着体とバッキング材との間に空気の咬み込みを防いで平らなバッキング面が得られるようにしたバッキング材の製造方法を提供すること。【解決手段】 基材2と、基材2上に積層された弾性層3と、弾性層3上に積層された粘着性樹脂層4と、を有する被研磨物を保持するためのバッキング材の製造方法である。粘着性樹脂層4が完全に硬化する前に、その樹脂層4の表面に、表面粗さRaが0.4〜4.0μmの微少な凹凸を有するフィルム7を貼り付ける工程、および粘着性樹脂層4が硬化した後、フィルム7を粘着性樹脂層表面から剥離する工程を包含する。
請求項（抜粋）：
基材と、該基材上に積層された弾性層と、該弾性層上に積層された粘着性樹脂層と、を有する被研磨物を保持するためのバッキング材の製造方法であって、該粘着性樹脂層が完全に硬化する前に、その樹脂層の表面に、表面粗さRaが0.4〜4.0μmの微少な凹凸を有するフィルムを貼り付ける工程、および該粘着性樹脂層が硬化した後、該フィルムを粘着性樹脂層表面から剥離する工程、を包含するバッキング材の製造方法。
IPC (2件)：
B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622
FI (2件)：
B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 622 J
Fターム (8件)：
3C058AB04 ,  3C058CA01 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB05 ,  3C058CB06 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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