特許
J-GLOBAL ID:200903062900683147
電流狭窄型CPP-GMRヘッドのヘッド抵抗調整方法
発明者:
,
,
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
平木 祐輔
, 渡辺 敏章
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-324471
公開番号(公開出願番号):特開2009-146530
出願日: 2007年12月17日
公開日(公表日): 2009年07月02日
要約:
【課題】スクリーン層適用CPP-GMRのヘッド抵抗を調整し歩留まりを向上する。【解決手段】ヘッド抵抗が所望の抵抗範囲より高いヘッドに抵抗調整用の電流を流すことにより、磁気抵抗変化率は大きく劣化せずに、ヘッド抵抗を所望の範囲に調整する。【選択図】図11
請求項(抜粋):
電極を兼ねる上下のシールドの間に、固定層と、自由層と、前記固定層と自由層に挟まれた中間層と、絶縁膜の中に電気抵抗の低いピンホールを有したスクリーン層を備える磁気抵抗効果素子を形成する第1の工程と、
前記磁気抵抗効果素子の膜面に垂直方向に電流を印加することにより、素子抵抗を低減させる第2の工程と
を有することを特徴とする磁気抵抗効果ヘッドの製造方法。
IPC (3件):
G11B 5/39
, H01L 43/08
, H01L 43/12
FI (3件):
G11B5/39
, H01L43/08 Z
, H01L43/12
Fターム (39件):
5D034AA05
, 5D034BA03
, 5D034BA06
, 5D034BA15
, 5D034BB12
, 5D034CA06
, 5D034DA07
, 5F092AA15
, 5F092AB03
, 5F092AC08
, 5F092AD03
, 5F092AD12
, 5F092BB09
, 5F092BB10
, 5F092BB17
, 5F092BB22
, 5F092BB23
, 5F092BB24
, 5F092BB31
, 5F092BB34
, 5F092BB35
, 5F092BB36
, 5F092BB37
, 5F092BB40
, 5F092BB42
, 5F092BB43
, 5F092BB44
, 5F092BB53
, 5F092BB66
, 5F092BB81
, 5F092BC04
, 5F092BC07
, 5F092BC13
, 5F092BC14
, 5F092BC18
, 5F092BC22
, 5F092BE24
, 5F092CA40
, 5F092GA01
引用特許: