特許
J-GLOBAL ID：200903062917535753
電気・音響変換素子、アレイ型超音波トランスデューサおよび超音波診断装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
磯野 道造
, 多田 悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-179959
公開番号（公開出願番号）：特開2006-352808
出願日： 2005年06月20日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：
【課題】 ダイアフラム型電気・音響変換素子の電気・音響変換特性を安定させるとともに、その電気・音響変換素子用いて構成した超音波診断装置のノイズレベルを低減する。【解決手段】 電気・音響変換素子9を、シリコン基板1上に形成された下部電極2と、その上部に空隙部4を挟んで上部電極6とによるコンデンサセル8によって構成し、上部電極6の空隙部4側に形成する電極短絡防止膜5を、電気的時定数が1秒より短く、かつ、10マイクロ秒より長くなる材料、例えば、化学量論的にシリコンを過剰に含む窒化シリコンによって形成する。その結果、電極短絡防止膜5は、微弱な導電性を持つことになるので、電極短絡防止膜5への帯電やそのドリフトを防止することができる。その結果、電気・音響変換素子9の電気・音響変換特性が安定し、さらには、超音波診断装置の音響ノイズレベルが低減する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
シリコン基板上に形成された第1の電極と、前記第1の電極の上部に空隙部を挟んで前記第1の電極に対向するように形成された第2の電極とを含んで構成されたダイアフラム型の電気・音響変換素子において、
前記第1の電極および第2の電極の少なくともいずれか一方の電極の空隙部側に電極短絡防止膜が形成されており、
前記電極短絡防止膜は微弱な導電性を有し、その導電性を定める電気的時定数が、当該電気・音響変換素子に供給される電源電圧の立ち上がり時間よりも十分短く、かつ、当該電気・音響変換素子が変換対象とする音響波の振動周期よりも十分長いこと
を特徴とする電気・音響変換素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
4C601EE12
, 4C601EE13
, 4C601GB02
, 4C601GB03
, 4C601GB41
, 4C601GB48
, 5D019DD01
, 5D019FF04
