特許

J-GLOBAL ID：200903062922385891

プレーナー型アクチュエータ、及びそれを用いた光減衰器

発明者： 青木 浩 ,  上田 譲
出願人/特許権者： 日本信号株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-199719
公開番号（公開出願番号）：特開2008-026649
出願日： 2006年07月21日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：

【課題】外形サイズが小型化されたプレーナー型アクチュエータの提供。【解決手段】枠状の可動部13の内側に1本の直線状の梁部12を一体的に形成し、その長手方向中央をMID(Molded-Interconnect-Device)からなる柱状の支持部11で支持する。可動部13の表面にはガラス等からなる平板状のミラー部14が接着固定され、可動部13の裏面にはAl等の金属薄膜からなるコイルパターンが形成されている。コイルパターンは可動部13裏面を周回したうえで、その両端が梁部12の長手方向中央へと引き回され、導電性接着剤を介して支持部11外側面に形成された導電パターンと接続されている。コイルパターンに通電すると、可動部13周辺に設置された永久磁石との間に駆動力が発生し、可動部13は支持部11を支点として梁部12が捻じれる方向へ揺動する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも、 枠状の可動部と、 当該可動部の内側に形成された梁部と、 当該梁部を支持する支持部と、 前記可動部を揺動させる駆動力を発生する駆動力発生手段とで構成されることを特徴とするプレーナー型アクチュエータ。

IPC (2件)：

G02B 26/10 ,  G02B 26/08

FI (3件)：

G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 C ,  G02B26/08 E

Fターム (13件)：

2H041AA05 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC05 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045BA12 ,  2H045DA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 光偏向器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-253360   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 光偏向器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-299203   出願人：オリンパス株式会社