形状測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：外川英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-013643
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213418
出願日： 1997年01月28日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】被測定物の片面から、被測定物の温度に依存することなく、被測定物の幅、先・尾端形状等の形状を測定することができる形状測定装置を提供する。【解決手段】レーザ発振器2で発生した光を、ポリゴンミラー5と反射鏡6A、6Bにより2つのスキャンビームとして被測定物1の被測定面に照射し、被測定面から反射された反射光をマスク8を介して光電変換器9で受光し、得られた電気信号により被測定物1の幅、先・尾端形状等の形状を測定する。

請求項（抜粋）：

直進性の高い光を発生する光発生手段と、この光発生手段で発生された前記光を、被測定物の被測定面をスキャンするスキャンビームとして被測定物に照射する投光手段と、前記被測定面に対して前記投光手段と同じ側に設けられ、被測定面から反射された反射光を受光して電気信号を得る受光手段と、この受光手段により得られた前記電気信号から前記被測定物の形状に関する情報を得る信号処理手段とを備えたことを特徴とする形状測定装置。

引用特許：

審査官引用 (9件)

帯状部材組継部の形状検出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-136876 出願人：横浜ゴム株式会社
表面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-034365 出願人：株式会社東芝
カラー三次元画像入力装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-168628 出願人：株式会社クボタ

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