ホルダ位置調節装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-105928
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298133
出願日： 1999年04月13日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】走査プローブ顕微鏡のプローブと試料表面との距離の調節を短時間で行えるようにすること。【解決手段】プローブを保持するプローブホルダHまたは試料Sを保持する試料ホルダ117のうちの一方のホルダ117を支持するプローブ・試料間距離調節用ステージSTと、プローブ・試料間距離調節用ステージSTの両側に設けた一対の被支持部を支持する揺動枠86と、前記揺動枠86の一端部の位置を調節する揺動枠位置微調節部材と、前記揺動枠86の他端部の位置を粗調節する揺動枠位置粗調節部材とを備え、揺動枠86を揺動させながら上下動させることによりプローブ・試料間距離調節用ステージSTの位置を調節するホルダ位置調節装置。

請求項（抜粋）：

下記の要件(A01)〜(A06)を備えたことを特徴とするホルダ位置調節装置、(A01)プローブを保持するプローブホルダまたは試料を保持する試料ホルダのうちの一方のホルダを支持するとともに前記他方のホルダに対して離隔および接近する方向(離隔・接近方向)に移動して前記プローブおよび試料間の距離を調節するプローブ・試料間距離調節用ステージであって、前記離隔・接近方向に垂直な方向の互いに反対側の外側面に設けられた一対の被支持部を有する前記プローブ・試料間距離調節用ステージ、(A02)前記プローブ・試料間距離調節用ステージを前記他方のホルダに対して離隔および接近する方向(離隔・接近方向)にガイドするステージガイド、(A03)前記プローブ・試料間距離調節用ステージを前記他方のホルダに対して離隔または接近する方向に移動させる力を付与するステージ付勢部材、(A04)前記一対の被支持部を支持する一対の支持アームと、前記一対の支持アームの一端部どうしを接続する一端部接続部材および他端部どうしを接続する他端部接続部材を有する揺動枠、(A05)前記揺動枠の前記他端部接続部材の前記離隔・接近方向の位置を粗調節する揺動枠位置粗調節部材、(A06)前記揺動枠の前記一端部接続部材の前記離隔・接近方向の位置を調節する揺動枠位置微調節部材。

IPC (2件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 T , G01B 21/30 Z

Fターム (14件)：

2F069AA60 , 2F069DD15 , 2F069GG01 , 2F069GG07 , 2F069GG62 , 2F069HH05 , 2F069JJ06 , 2F069JJ15 , 2F069LL03 , 2F069MM02 , 2F069MM04 , 2F069MM32 , 2F069MM34 , 2F069MM38

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-083103
特開平4-264203
特表平7-504749

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