特許
J-GLOBAL ID:200903063005825366
ホトレジスト組成物、液晶パネル用スペーサの形成方法、液晶パネル用スペーサ、及び液晶パネル
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 柳井 則子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-070953
公開番号(公開出願番号):特開2005-258173
出願日: 2004年03月12日
公開日(公表日): 2005年09月22日
要約:
【課題】スペーサ用ビーズを基板上に選択的に形成する技術において、ビーズに対して良好な接着性を有し、レジスト残りの生じにくい技術を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)下記一般式(I)[R1は、アルキレン基、又は下記一般式(II)(R2は、アルキレン基、mは0又は1を表す)で表される基のいずれかを示す]で表される化合物との反応生成物、(C)放射線の照射により酸成分を発生する化合物、及び(D)ビーズ、を含有してなるホトレジスト組成物を用いて、基板のブラックマトリックスパターンの上にビーズを接着する。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(A)アルカリ可溶性樹脂と、(B)下記一般式(I)
IPC (6件):
G03F7/039
, C08F2/44
, C08F291/00
, G02F1/1339
, G03F7/004
, G03F7/38
FI (6件):
G03F7/039 601
, C08F2/44 C
, C08F291/00
, G02F1/1339 500
, G03F7/004 501
, G03F7/38 511
Fターム (53件):
2H025AA14
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025CC08
, 2H025FA04
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 2H089LA07
, 2H089LA16
, 2H089MA04X
, 2H089NA06
, 2H089NA12
, 2H089NA14
, 2H089NA17
, 2H089PA02
, 2H089QA02
, 2H089QA12
, 2H089QA14
, 2H089QA16
, 2H096AA27
, 2H096BA11
, 2H096BA20
, 2H096EA02
, 2H096EA15
, 2H096FA01
, 2H096GA08
, 4J011PA29
, 4J011PA43
, 4J011PA44
, 4J011PA45
, 4J011PA65
, 4J011PA69
, 4J011PA85
, 4J011PB06
, 4J011PB40
, 4J011PC02
, 4J011QA11
, 4J011QA33
, 4J011QA45
, 4J011RA03
, 4J011RA10
, 4J011WA01
, 4J026AA20
, 4J026AA43
, 4J026AB01
, 4J026AC36
, 4J026BA17
, 4J026DB06
, 4J026DB36
, 4J026FA05
, 4J026GA09
引用特許:
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