特許

J-GLOBAL ID：200903063019621798

金属酸化膜の改質方法、金属酸化膜の成膜方法及び熱処理装置

発明者： 邵 寿潜
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-026170
公開番号（公開出願番号）：特開2002-050622
出願日： 2001年02月01日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】【課題】 膜質特性を良好に改善することができる金属酸化膜の改質方法を提供する。【解決手段】 被処理体Wの表面に形成された金属酸化膜2を、改質ガスを用いて改質処理する改質方法において、前記改質ガスは実質的に純粋な酸素ラジカルよりなるガスとする。これにより、膜質特性を良好に改善することができる。

請求項（抜粋）：

被処理体の表面に形成された金属酸化膜を、改質ガスを用いて改質処理する改質方法において、前記改質ガスは実質的に純粋な酸素ラジカルよりなるガスであることを特徴とする金属酸化膜の改質方法。

IPC (6件)：

H01L 21/316 ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/56 ,  H01L 21/31 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822

FI (6件)：

H01L 21/316 P ,  H01L 21/316 X ,  C23C 16/40 ,  C23C 16/56 ,  H01L 21/31 A ,  H01L 27/04 C

Fターム (51件)：

4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA42 ,  4K030CA04 ,  4K030DA08 ,  4K030DA09 ,  4K030EA06 ,  4K030FA10 ,  4K030LA15 ,  5F038AC15 ,  5F038AC18 ,  5F038EZ14 ,  5F038EZ16 ,  5F038EZ17 ,  5F038EZ20 ,  5F045AB31 ,  5F045AC09 ,  5F045AC11 ,  5F045AC16 ,  5F045AD04 ,  5F045AD05 ,  5F045AD06 ,  5F045AD07 ,  5F045AD08 ,  5F045AD09 ,  5F045AD12 ,  5F045AE21 ,  5F045AE23 ,  5F045AE25 ,  5F045AF03 ,  5F045BB08 ,  5F045BB16 ,  5F045DC63 ,  5F045DP04 ,  5F045EB02 ,  5F045EE02 ,  5F045EE04 ,  5F045EE06 ,  5F045EF05 ,  5F045EK07 ,  5F045HA16 ,  5F045HA23 ,  5F058BA11 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BC20 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BF37 ,  5F058BH16 ,  5F058BJ01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 酸化物薄膜の熱処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-220010   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-196321
  
• 金属酸化膜の形成方法及び成膜処理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-204502   出願人：東京エレクトロン株式会社