パタン形成材料およびパタン形成方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-053727
公開番号（公開出願番号）：特開平6-266108
出願日： 1993年03月15日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】基板面から垂直に切り立った良好な断面形状を与える高感度,高解像度のポジ型パタン形成材料を得る。【構成】アルカリ可溶性樹脂と酸分解性基(例:テトラヒドロピラニルオキシ基)を含むビニル重合体と活性化学線の照射により酸を発生する化合物(例:ピロガロールとメタンスルホン酸の三置換体エステル)を酢酸メチルセロソルブに溶解してパタン形成材料を得る。酸分解性基を含むビニル重合体の重量平均分子量(Mw)は、1500〜3000の範囲にある。このパタン形成材料を基板上に塗布し、電子線照射した後、ベークを施す。この基板を有機アルカリ現像液で現像して照射部を除き、ポジ型パタンを得る。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂及び活性化学線照射により酸を生じる化合物及び酸触媒反応によりアルカリ水溶液に対し溶解性を増加させる反応性を有する高分子化合物を含むポジ型化学増幅系レジスト組成物であって、前記酸触媒反応によりアルカリ水溶液に対し溶解性を増加させる反応性を有する高分子化合物が側鎖に酸分解性基をもつビニル重合体であり、示差屈折率検出器使用により、ポリスチレン換算重量平均分子量で1500〜3000の範囲にあることを特徴とするパタン形成材料。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/028 , G03F 7/30 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 301 R , H01L 21/30 361 L

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭63-250642
特開平3-289658
特開平4-088348

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