特許
J-GLOBAL ID：200903063145504420
表面画像投影装置及び表面画像投影方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 島田 哲郎
, 小林 龍
, 西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-297612
公開番号（公開出願番号）：特開2005-070225
出願日： 2003年08月21日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】 測定レンジが広くフォーカス調整が容易であり、高速なフォーカス制御が可能な表面画像投影装置を、簡易な構成で提供する。【解決手段】 対物レンズ26が試料1に沿って走査するよう制御して試料1の各部の表面画像を取得する表面画像投影装置20を、試料表面1の高さを検出する高さ検出手段41、51と、高さ検出手段41、51により検出される高さに応じて、表面画像投影装置20の試料表面1に対するフォーカスを合わせるフォーカス制御手段55、13とを備えて構成し、高さ検出手段41は、対物レンズ26よりも走査方向の前方に相対位置が固定して設けられて、画像取得のために前記対物レンズが走査するの合わせて試料表面の高さを検出するように構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料表面の一部を投影する投影手段の対物レンズが前記試料表面に沿って走査するように、前記試料及び/又は前記対物レンズを移動させて、前記試料表面上の各部における画像を取得する表面画像投影装置であって、
前記試料表面の高さを検出する高さ検出手段と、
前記高さ検出手段により検出される高さに応じて、前記投影手段の前記試料表面に対するフォーカスを合わせるフォーカス制御手段と、を備え、
前記高さ検出手段は、前記対物レンズよりも前記走査の走査方向の前方に、かつ前記対物レンズとの相対位置が固定されて設けられ、画像の取得のために前記対物レンズが走査する間、前記対物レンズが画像の取得位置に至るまでに、画像の取得位置における前記試料表面の高さを検出することを特徴とする表面画像投影装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G02B7/11 N
, H01L21/66 J
, G02B7/11 G
, G02B7/11 M
2H051AA10
, 2H051BA65
, 2H051BA70
, 2H051CB02
, 2H051CB18
, 2H051CC03
, 4M106AA01
, 4M106BA20
, 4M106CA39
, 4M106DB12
, 4M106DB18
, 4M106DB20
, 4M106DB30
, 4M106DJ21
