特許
J-GLOBAL ID：200903031903207769

焦点検出装置及び自動焦点顕微鏡

発明者：
河村 一郎

河村 一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社東京精密

株式会社東京精密 について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-134973
公開番号（公開出願番号）：特開2001-318302
出願日： 2000年05月08日
公開日（公表日）： 2001年11月16日
要約：
【要約】【課題】 表面に凹凸のある試料であっても、試料表面の位置を高精度且つ容易に検出可能で、組立も容易な焦点検出装置及び自動焦点顕微鏡の実現。【解決手段】 点光源を一方向に配列した一次元光源31,32,33と、一次元光源の像を試料面上に投影すると共に試料面上に投影された一次元光源の像を結像面に投影する焦点検出光学系15,16 と、結像面に投影された一次元光源の各点光源に対応して配列されたアパーチャ35を有し、結像面に対して傾いて配置された一次元アパーチャ34と、一次元アパーチャの各アパーチャを通過した光を検出する一次元光検出器36と、一次元光検出器の出力を処理して試料面の焦点検出光学系の光軸方向の位置を検出する信号処理装置37とを備える。
請求項（抜粋）：
点光源を一方向に配列した一次元光源と、前記一次元光源の像を試料面上に投影すると共に、前記試料面上に投影された前記一次元光源の像を結像面に投影する焦点検出光学系と、前記結像面に投影された前記一次元光源の各点光源に対応して配列されたアパーチャを有し、前記結像面に対して傾いて配置された一次元アパーチャと、該一次元アパーチャの各アパーチャを通過した光を検出する一次元光検出器と、該一次元光検出器の出力を処理して、前記試料面の前記焦点検出光学系の光軸方向の位置を検出する信号処理装置とを備えることを特徴とする焦点検出装置。
IPC (2件)：
G02B 7/28 ,  G02B 21/26
FI (3件)：
G02B 21/26 ,  G02B 7/11 N ,  G02B 7/11 J
Fターム (15件)：
2H051BA47 ,  2H051BA70 ,  2H051BA72 ,  2H051CB05 ,  2H051CB06 ,  2H051CB11 ,  2H051CB20 ,  2H051CB22 ,  2H051CB27 ,  2H051CB29 ,  2H051CC07 ,  2H051FA76 ,  2H051GB12 ,  2H052AD09 ,  2H052AD18
引用特許：
審査官引用 (6件)
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