特許

J-GLOBAL ID：200903063200805051

磁気抵抗効果多層膜およびその製造方法

発明者： 小池 文人 ,  長谷川 直也
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-128659
公開番号（公開出願番号）：特開平8-321644
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、非磁性層の両側に配置される磁性層の構造を特別に工夫することで、小さな磁界変化で大きな磁気抵抗変化率を示すことができるようにした磁気抵抗効果多層膜およびその製造方法の提供を目的とする。【構成】 本発明は、少なくとも2層の対になる強磁性層24、26が、それらの間に非磁性層25を介在させて基板20上に積層されてなる磁気抵抗効果多層膜であって、前記対になる強磁性層24、26の少なくとも一方が、少なくとも2種類の異種磁性材料から構成されてなるものであり、かつ異種磁性材料間に明確な界面が存在せず、濃度勾配を有するものである。

請求項（抜粋）：

少なくとも2層の対になる強磁性層が、それらの間に非磁性層を介在させて基板上に積層されてなる磁気抵抗効果多層膜であって、前記対になる強磁性層の少なくとも一方が、少なくとも2種類の異種磁性材料から構成されてなることを特徴とする磁気抵抗効果多層膜。

IPC (6件)：

H01L 43/08 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/34 ,  G01R 33/09 ,  G11B 5/39 ,  G01B 7/00

FI (6件)：

H01L 43/08 Z ,  C23C 14/06 T ,  C23C 14/34 P ,  G11B 5/39 ,  G01B 7/00 J ,  G01R 33/06 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 磁気記録再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-223277   出願人：株式会社日立製作所
• 磁気抵抗効果素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-340801   出願人：財団法人生産開発科学研究所
• 積層膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-033877   出願人：株式会社東芝