ダイヤフラムポンプ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉岡宏嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-319097
公開番号（公開出願番号）：特開2001-132646
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】送液精度を向上したダイヤフラムポンプを提供する。【解決手段】ダイヤフラム13と、該ダイヤフラム13を往復変位させる駆動手段と、前記ダイヤフラム13で一部が画成された圧力室7と、前記ダイヤフラム13の変位計測手段29と、該変位計測手段29で検出した値に基づいて前記ダイヤフラム13の変位を制御する制御手段19とを備える。このようにすれば、変位計測手段29で計測した値に基づき、制御部19は、ダイヤフラム13の変位が所定の送液量となるような適切な変位になるように駆動手段15を制御できるので送液精度を向上することができる。

請求項（抜粋）：

ダイヤフラムと、該ダイヤフラムを往復変位させる駆動手段と、前記ダイヤフラムで一部が画成された圧力室と、前記ダイヤフラムの変位計測手段と、該変位計測手段で検出した値に基づいて前記ダイヤフラムの変位を制御する制御手段とを備えてなるダイヤフラムポンプ。

Fターム (10件)：

3H077AA01 , 3H077BB10 , 3H077CC02 , 3H077CC09 , 3H077DD06 , 3H077EE05 , 3H077FF10 , 3H077FF36 , 3H077FF55 , 3H077FF57

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭60-230575
定量ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-287060 出願人：東芝セラミックス株式会社
特開平3-225085

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