特許
J-GLOBAL ID：200903063230298367
走査型レーザ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-053508
公開番号（公開出願番号）：特開平11-249022
出願日： 1998年03月05日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】本発明は、簡単かつ迅速に合焦位置を得ることができる走査型レーザ顕微鏡を提供する。【解決手段】走査制御装置17によりX方向スキャナ4およびY方向スキャナ5による試料9に対するレーザビームの走査速度を切換え可能にするとともに、試料9が非合焦位置にあると、この試料9が合焦位置にある場合に比べ、レーザビームの走査速度を高速に切換えるようにし、この高速制御の下で、試料9に対する検出信号に基づいて試料9と対物レンズ8の相対距離を変化させながら試料9の合焦位置を設定する。
請求項（抜粋）：
試料に対してレーザビームを走査しながら照射し、該試料からの光量に応じた検出信号から画像情報を得るようにした走査型レーザ顕微鏡において、前記試料に対するレーザビームの走査速度を切換え制御可能にするとともに、前記試料が非合焦位置にあると、該試料が合焦位置にある場合に比べ、前記点光源の走査速度を高速に切換える走査速度制御手段を有し、この走査速度制御手段の高速制御の下で、前記試料に対する検出信号に基づいて前記試料の合焦位置を設定することを特徴とする走査型レーザ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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