特許

J-GLOBAL ID：200903063231957330

ウエハー形状測定装置

発明者： 三上 善秋 ,  大隅 雄三郎 ,  明石 幸治
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-202624
公開番号（公開出願番号）：特開平10-047949
出願日： 1996年07月31日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】ウエハーに重力による撓みを発生させることなく保持し、センサーを1回走査させることで、ウエハー本来の平面度、反り、厚み等の形状を正確に測定できるようにする。【解決手段】被測定物であるウエハーの周縁部を保持する保持機構を備えた環状ホルダーと、該環状ホルダーを回転自在に鉛直に静圧支持してなる固定部材と、上記環状ホルダーに保持したウエハーの形状を測定する検出部材と、該検出部材をウエハー上で走査させる静圧方式のスライド装置によりウエハー形状測定装置を構成する。

請求項（抜粋）：

被測定物であるウエハーの周縁部を保持する保持機構を備えた環状ホルダーと、該環状ホルダーを回転自在に鉛直に静圧支持してなる固定部材と、上記環状ホルダーに保持したウエハーの形状を測定する検出部材と、該検出部材をウエハー上で走査させる静圧方式のスライド装置とからなり、前記ウエハーを鉛直に保持して形状を測定するようにしたことを特徴とするウエハー形状測定装置。

IPC (4件)：

G01B 21/20 ,  G01B 11/24 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G01B 21/20 A ,  G01B 11/24 F ,  H01L 21/66 K ,  H01L 21/68 N

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ウェーハその他の薄層体の表面形状測定方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-316058   出願人：黒田精工株式会社
• ウエハ試験および自動較正システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-056843   出願人：エーディーイーコーポレーション
• 傾斜入射多重スペクトル干渉計を使用する基体の厚さ測定方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-235526   出願人：ヒューズ・エアクラフト・カンパニー