特許
J-GLOBAL ID：200903063235042808
クリーンルーム構造
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113377
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304322
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】ファンフィルタユニットを間引きして設置しても間引した下方領域に塵埃が滞留することがなく、且つ天井面周縁領域にも塵埃が滞留することのないので、高い清浄度のクリーンルームを得ることができる。【解決手段】間引きした開口部分37に通気性を有する通気部材38を配設してクリーンルーム12内のエアの一部を通気部材38を介して天井裏空間24に戻すようにし、且つ天井面16と側壁部64の突き合わせ部分66に丸みをつける湾曲部材68を配設した。これにより、間引きした下方領域や天井面16の周縁領域に塵埃が滞留しないので、クリーンルーム12内の清浄度が向上する。
請求項（抜粋）：
クリーンルームの天井面に、該クリーンルーム内に清浄エアを吹き出すファンフィルタユニットを間引きして配設したクリーンルーム構造において、前記間引きした開口部分に通気性を有する通気部材を配設して前記クリーンルーム内のエアの一部を前記通気部材を介して天井裏空間に通気させると共に、前記クリーンルームの側壁部と前記天井面周縁との突き合わせ部分に丸みをつけるための湾曲部を設けたことを特徴とするクリーンルーム構造。
Fターム (4件)：
3L058BF01
, 3L058BF06
, 3L058BF07
, 3L058BG01
