力勾配検出方法、情報再生方法、情報再生装置及び情報記録再生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-019329
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211078
出願日： 1995年02月07日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】非接触型原子間力顕微鏡、磁気力顕微鏡、静電気力顕微鏡による力勾配の測定の高速化を目的とする。【構成】カンチレバーの少なくとも2次以上の高次の共振周波数近傍でカンチレバーを強制振動させ、その振幅、位相または共振周波数の変化を検出して探針と試料表面の間にはたらく力の力勾配を測定する。【効果】カンチレバーの二次共振周波数は基本共振周波数の6.27倍、三次共振周波数は17.56倍、四次共振は34.41倍であるので、基本共振周波数の低いカンチレバーを用いても、カンチレバーの強制振動の周波数を上げることができ、振幅、位相、共振周波数の検出に要する時間を短くできる。

請求項（抜粋）：

先鋭化した探針を自由端に有するカンチレバーを試料に接近させ、前記カンチレバーの自由振動の機械的共振周波数のうち少なくとも2次以上の高次の機械的共振周波数近傍の周波数で強制振動源を用いて前記カンチレバーを強制振動させ、前記カンチレバーの振動振幅、または前記強制振動源と前記カンチレバーの振動の位相のずれ、または前記機械的共振周波数の変化から前記探針と前記試料表面の間にはたらく力の力勾配を検出する力勾配検出方法。

IPC (4件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , G11B 9/00 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (3件)

試料測定用プローブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-176210 出願人：オリンパス光学工業株式会社
表面電位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-009536 出願人：株式会社日立製作所
表面構造を画像化するセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-034155 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

前のページに戻る